中商情报网讯：光刻机作为芯片产业的核心装备，有人称它为“人类最精密复杂的机器”。同时，光刻机也被称为半导体工业皇冠上的明珠。近日，国内光刻机产业链的企业之一，传芯半导体公开宣布已经20余项EUV光刻机技术专利，加上此前在激光光源、工作台、镜头等方面所取得的成果，国产EUV光刻机已取得了重大进展，或许数年后国产EUV光刻机就将量产。

　　从产业链来看，光刻机产业链主要包括上游设备及材料、中游光刻机生产及下游光刻机应用三大环节。光刻机技术极为复杂，在所有半导体制造设备中技术含量最高。主要涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术，生产一台光刻机往往涉及到上千家供应商。

　　光刻胶是电子领域微细图形加工的关键性材料，在半导体、LCD、PCB等行业的生产中具有重要作用。由于技术壁垒、认证壁垒较高，一直以来，我国光刻胶需求对外依赖度大。近年来，光刻胶在半导体工业、PCB、平板显示等领域广泛应用，市场规模逐年增长。数据显示，我国光刻胶市场规模由2017年58.7亿元增至2020年84亿元，年均复合增长率为12.7%。中商产业研究院预测，2022年我国光刻胶市场规模可达98.6亿元。

　　光刻机生产制造的技术要求极高，阿斯麦一台光刻机包含了10万个零部件，需要40个标准集装箱才能装下，涉及到上游5000多家供应商，比如德国的光学设备与超精密仪器，美国的计量设备与光源等。一台光刻机的主要部件包含测量台与曝光台、激光器、光束矫正器、能量控制器等11个模块。

　　半导体激光器在各类激光器中拥有最佳的能量转化效率，一方面可以作为光纤激光器、固体激光器等多种光泵浦激光器的核心泵浦源使用，另一方面，随着半导体激光技术在功率、效率、亮度、寿命、多波长、调制速率等方面的不断突破，半导体激光器被广泛直接应用于材料加工、医疗、光通信、传感、国防等领域。2020年，全球激光器市场规模达162亿美元，随着全球智能化发展，预计2022年全球激光器市场规模将达到184亿美元。

　　光刻机按照有无掩模可分为有掩模光刻机和无掩模光刻机。这两类光刻机分别有不同的种类：无掩模光刻机分为电子束直写光刻机、激光直写光刻机、离子束直写光刻机，有掩模光刻机分为接近/接触式光刻机以及投影光刻机。

　　全球半导体设备行业复苏,受益于下游晶圆巨大需求、服务器云计算和5G基础建设的发展,带动相关芯片的需求,2020年光刻机销售额与销量增速稳定提升。2021年全球集成电路、面板、LED用光刻机出货约650台，较2020年增加70台。其中集成电路制造用光刻机出货约500台；面板、LED用光刻机出货约150台。2021年全球光刻机销量为450台，随着下游市场需求持续升高，预计2022全球市场仍将持续增长，销量将达510台。

　　目前，光刻机市场竞争格局明确，主要由阿斯麦、日本尼康和佳能三家把持，其中阿斯麦更是全球绝对龙头，市占率83.3%，几乎垄断了高端光刻机（EUV）市场。日本尼康和佳能产品主要为中低端机型。国产光刻机领域中，上海微电子一枝独秀。

　　国产光刻机市场前景广阔，同时，为了避免在芯片产能爬坡时被外界的设备供应给“卡脖子”，国产光刻机正在逐步突破。近年来，我国科技取得了巨大突破，五年内有望解决高端芯片短缺问题。

　　数据来源：SEMI、中商产业研究院整理

　　2021年，前三大光刻机企业阿斯麦、尼康、佳能的集成电路用光刻机出货达478台，较2020年的413台增加65台，同比增长15%。2021年阿斯麦光刻机营收约854亿元，阿斯麦共出货309台光刻机，；尼康光刻机业务营收约112亿元，集成电路用光刻机出货29台，较2020年减少4台；佳能光刻机营收约为110亿元，佳能的半导体用光刻机是i-line、KrF两类机台出货，光刻机出货量达140台，较2020年出货增加18台。

　　下表为阿斯麦光刻机主要供应商汇总一览表：

　　上海微电子深耕光刻机产品研发，承担多项专项科研任务。目前公司光刻机产品主要包括IC前道光刻机、IC后道封装光刻机、面板前道光刻机、面板后道封装光刻机。作为国内光刻机设备领域的领航者，上海微电子承担着国产光刻机设备的希望，若能实现光刻机设备的国产化，中国大力发展的半导体产业必将迈上一个新台阶。

　　我国集成电路行业虽起步较晚，但经过多年快速发展，目前已经取得了长足的发展和进步。数据显示，我国集成电路市场规模由2017年的5411亿元快速增长至2021年的10996亿元，年均复合增长率为19%。展望未来，我国集成电路产业未来一段时间内仍将保持高速增长，预计2022年我国集成电路规模将达到13085亿元，同比增长15.9%。

　　数据来源：中国半导体行业协会（CSIA）、中商产业研究院整理

　　应用在LED产品上的光刻机不需要太高的精密度，价格也比较低，通常不足上千万。然而，近年来我国LED市场规模不断扩大，其产品日益成为满足生活和生产照明需求的主流，从而带动了光刻机的需求。中商产业研究院预测，2022年我国LED行业市场规模可达10085亿元，同比增长7.0%。

　　数据来源：中国半导体行业协会（CSIA）、中商产业研究院整理

　　更多资料请参考中商产业研究院发布的《中国半导体设备市场前景及投资机会研究报告》,同时中商产业研究院还提供产业大数据、产业规划策划、产业园策划规划、产业招商引资等解决方案。

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