1 行业背景研究 2 行业现状分析 3 行业痛点及发展建议 4 行业格局及前景趋势

　　行业定义 行业发展历程 行业政策、经济、社会环境

　　溅射是半导体、光电行业制备电子薄膜材料的一种物理气相沉积技术，指固体靶中的原 子被高能量离子（通常来自等离子体）撞击而离开固体进入气体的物理过程。溅射的工 艺原理是利用高能量金属等离子体（由离子源产生）在充有惰性气体的高真空系统中， 通过高压电场的作用，促使氩气电离加速聚集成高速氩离子流，轰击靶阴极，被溅出的 靶材料原子或分子沉积在半导体芯片或玻璃、陶瓷基材表面，从而形成各类纳米或微米 功能薄膜。靶材是在溅射过程中被高速金属等离子体流轰击的目标材料，是制备功能薄 膜的原材料，又称“溅射靶材”，更换不同靶材可以得到不同的膜系。本文所研究的高 性能靶材是指应用领域为半导体、平面显示、太阳能电池领域的金属纯度为99.95%以上 的溅射靶材。靶材制造的工序步骤精细且繁多，其工艺流程管理水平和制造水平直接影 响靶材的质量和良品率。靶材制造首先需要根据应用元件的性能需求进行工艺设计，其 次再进行金属提纯、压制成型、气氛烧结、塑性加工、热处理、超声探伤、机械加工、 水切割、机械加工、金属化、绑定、超声测试、超声清冼、栓验出货等15项工序。在靶 材烧制的工艺过程中，需要精确控制晶粒、晶向等关键指标以确保靶材性能

　　《有色金属工业发展规划（ 2016-2020）》

　　《“十三五”材料领域科技创新 专项规划》

　　《安徽省人民政府办公厅关于印发安徽省半导 体产业发展规划》

　　《广东省数字经济发展规划 （2018-2025年）》

　　加大靶材领域企业培育力度，以形成“材 料-面板-模组-整机”产业链，全力打造以 广州和深圳为核心的新型显示产业集群。

　　提出要加快发展溅射靶材等相关材料和配套产品，探索发 展高纯金属靶材，吸引聚集一批靶材等电子化工配套企业 。

　　提出要积极引进发展高端靶材等集成电路电 子材料

　　《天津市新材料产业发展三年行动计划 （2018-2020年）》

　　方案提出要突破新一代信息技术领域关键材料， 提高高纯金属及合金溅射靶材、异型蓝宝石晶体 材料溅射镀膜靶材生产技术水平。

　　产业链 行业驱动因素 行业现状分析 行业市场规模

　　中国高性能靶材行业产业链分为三部分:产业链上游参与者为高纯金属原材料和生产设备供应商；产业 链中游主体为高性能靶材产品制造企业；产业链下游参与者是为半导体、面板、太阳能电池、存储器等 生产厂商。

　　高纯金属原材料、生产设 备供应商

　　产业链下游参与者是为半 导体、面板、太阳能电池、

　　中国高性能靶材行业在国家战略政策支持以及下游众多应用领域需 求支撑下，行业技术不断突破，产品性能不断提升，带动高性能靶 材市场规模不断扩大。按销售额统计，2014年至2019年，中国高性 能靶材市场规模由68.2亿元增长至165.2亿元，年复合增长率为 19.4%。未来五年，得益于全球半导体集成电路产业加速向大陆转移， 晶圆厂产能不断释放以及平板显示器行业产能不断扩建等因素，下 游应用市场对高性能靶材需求量将不断增加，高性能靶材市场空间 逐渐扩大，中国高性能靶材行业市场规模在2023年有望达到339.5亿 元，2019年-2023年期间将保持19.7%年复合增长率

　　行业格局 行业发展趋势 行业代表企业

　　据对高性能靶材行业龙头企业有13年产品开发、市场规划及重大项目申报经验 的行业专家访谈得知:高性能靶材行业存在极高的技术壁垒、资金壁垒以及客户 认证壁垒，导致中国高性能靶材行业进入门槛较高，市场参与者较少，行业集中 度高。全球范围来看，由于日本、美国等国际企业凭借在高性能靶材领域涉足历 史悠久，先发技术积累优势突出，主导产业发展方向和技术革新，全球高性能靶 材市场呈现寡头垄断格局。日矿金属、霍尼韦尔、东曹、普莱克斯、爱发科几家 企业共占据全球约80%市场份额。2000-2010年，中国本土靶材正处于起步发 展阶段，在高性能靶材生产技术方面突破较慢，因此这一阶段，半导体芯片、平 板显示用以及太阳能电池领域用高性能靶材市场基本上被日矿金属、霍尼韦尔、 日本东曹等少数几家国际企业垄断。

　　近五年，在半导体产业迅速向中国大陆转移以及国家政策的支持，国产高性能靶材 在技术方面不断突破，逐渐形成了以江丰电子、有研亿金、福建阿石创、隆华科技 为代表的本土靶材龙头企业，在高性能靶材应用的不同领域逐步实现国产替代进口， 国产企业高性能靶材市场份额逐渐提升。（1）半导体芯片领域:江丰电子已全面攻 克集成电路28-7nm技术节点用超高纯靶材技术并实现批量生产，核心技术已达到 国际领先水平，已应用于台积电、联华电子、格罗方德等知名半导体企业，已占据 中国国内约40%的市场份额。有研亿金在该领域也在半导体芯片“45-28nm”配线 用Cu靶材实现土坯，占据中国国内约8%的市场份额。其余市场依然被日美企业所 占据。（2）平板显示领域:2018年，平板显示用靶材龙头企业阿石创在液晶显示器、 触控屏和AMOLED用靶材方面已进入京东方、天马微电子等平板显示领域。隆华科 技钼靶与ITO靶材上拥有国内领先的技术优势。随着国内平板显示用靶材生产企业 逐步进入京东方等面板企业供应商名单。但由于本土厂商产能处在初步放量阶段， 整体市场份额约在10%左右，剩余市场依然被日矿金属、日本三井金属等外资企业 垄断

　　江阴恩特莱特镀膜科技有限公司（以下简称“恩特莱特”）成立于2014年， 位于江阴市金山路创智产业园，是一家从事磁控溅射靶材研发、生产和销售的 高新技术企业。恩特莱特靶材系列产品包括陶瓷、金属、合金靶以及其它各种 特殊材料的靶材，已广泛应用于平面显示、建筑与汽车玻璃大面积镀膜、太阳 能光伏和光热、装饰与工具、半导体等工业领域。恩特莱特目前为江苏省高新 技术企业、江苏省科技型中小企业、江苏省民营科技企业、无锡市“东方硅谷” 科技创业企业（江阴330），取得了进出口贸易自营权，并于2016年在江苏省 股权交易中心挂牌。2016年4月，恩特莱特获得江阴市高新技术创业投资有限 公司100万元天使轮。

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