靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。金属靶材一般是由高纯金属制成。高纯靶材 就是上常用的耙材中的一种。对于金属靶材，一般要求面需要数控加工，越光滑越 好。溅镀后的模压盘片能够在播放器上读出，为确保读出信号的强度，需要溅镀金属 层的反射率达到 80％。靶材主要应用在 ITO 导电、DWDM（高多工分配器）、CDR、CD-RW、DVD、EMI（抗电波干扰）、OLED、磁性材料、感测元件、压电材 料、硬化膜、高温超导等产品上。靶材主要有金属类、合金类、物类等等。目前靶材 主要制造商包括有德国 HERAEUS，占率达 60%，第二位是日商 HITACHI 占有率 23%，第三位为光洋科占 10%，第四位是日商 Nikko 占 6﹪。溅镀靶材大厂 PLANSEE 至 2010 年于奥地利扩厂投资将达 1 亿欧元 充份供应全球大尺寸用靶材。目前，只有 中国、美国、日本、德国和法国等少数国备制造溅射靶材的技术。因此在全球范围内 靶格行业还在处于一种垄断性非常强的时期。

　　靶材的技术发展趋势与下游应用产业的薄膜技术发展趋势息息相关，随着应用产业在 薄膜产品或元件上的技术改进，靶材技术也应随之变化。目前，高端的靶材朝超大尺 寸方向发展，主要有以下两个原因：(1)因为一次溅射镀膜过程所生产的器件数量，与 靶材的尺寸成平方关系。因此，靶材愈大，器件生产的成本越低，产品越强。这是电 子、平板、板生产企业不断追求的目标。(2)由于单个平板显示器、板等面积越来越 大，需要的靶材尺寸也越大，才能满足薄膜性能的均匀一致性。由于靶材尺寸越来越 大，对靶材的生产设备、制备技术、靶材结构、及靶材性能要求也越来越高。如要求 靶材的密度更高，成份更纯、结构均匀性更好等,资金投入也更大。因为溅射镀膜的过 程中，致密度较小的溅射靶受轰击时，由于靶材内部孔隙内存在的气体突然释放，造

　　成大尺寸的靶材颗粒或微粒飞溅，或成膜之后膜材受二次电子轰击造成微粒飞溅。这 些微粒的出现会降低器件中薄膜品质。如在 VLSI 制作工艺过程中，每 150mm 直径片 所能允许的微粒数必须小于 30 个。因此大尺寸靶材的密度要求更高。同时，靶材溅 射时，靶材中的原子蕞容易沿着密排面方向择优溅射出来，材料的结晶方向对溅射速 率和溅射膜层的厚度均匀性影响较大。因此，对于大尺寸靶材，获得组织结构细腻、 均匀性好的靶材结构对解决上述问题至关重要。但要在大尺寸靶材中获得这样优良组 织结构，存在较大的难度，需要对以往的生产制备设备和技术进行改进。因此，超大 尺寸靶材的生产实施，对于提高我国的靶材制备平，提高器件的质量和竞争力至关重 要。

　　近年来我国电子信息产业飞速发展,、光盘及显示器生产线均有大量合资或独资企业出 现,我国已逐渐成为了世界上薄膜靶材的蕞大需求地区之一。但迄今为止, 日本和德国 是世界上从事靶材生产的先进国家，中国大量高性能靶材仍从国外进口。由于国内靶 材产业的滞后发展,目前中国靶材市场很大部分被国外公司占领。随着微电子等高科技 产业的高速发展,中国的靶材市场将日益扩大,为中国靶材制造业的发展提供了机遇和 挑战。

　　随着全世界平面显示器需求不断成长的趋势下，台湾的 TFT-LCD 平面显示器产业经 过过去几年之努力，已有不错之成绩；基本上，平面显示器在生产过程中有许多薄膜 制程，相对的，相关溅镀靶材之需求也将随之成长。台湾在平面显示器的发展模式与 过去之半导体代工产业雷同，都是以购买国外原物料、原设备开始发展，透过台湾良 好之制程管理降低成本，才能在世界高科技产业舞台占有一席之地。然台湾之平面显

　　示器产业历经过去一年来韩国产品不断降价之压力下，尽管出货量并未有大幅度的下 滑，但在获利率方面已受到严重之压缩。其中蕞大的关键在于台湾在相关原材料产业 之发展脚步上较日本、韩国为晚，相关重要零组件过度依赖日本。以平面显示器所必 须使用之氧化铟锡(ITO)溅镀靶为例，目前韩国及台湾仍以使用日本相关产品为主， 而韩国三星公司即于 2000 年向日本住友公司技术引进其生产技术，建立一年产 30 吨 之产线，以期降低对日本之依赖。本文即针对 TFT-LCD 平面显示器相关溅镀靶材需 求、发展作一简单之介绍。

　　平面显示器的发展趋势 近几年来，台湾已逐渐成为世界 3 大平面显示器生产王国之一。根据日本电子及通讯 工业技术协会(Japanese Electronics and Information Technology Industries Association， JEITA)之统计及预测，CRT 及其它平面显示器(Flat panel Display，FPD)在 2000 年分 别有兆及～兆日圆之市场；而到了 2005 年则将分别有～兆及 5～7 兆日圆之产值。届 时，CRT 显示器在产量上将小幅领先其它平面显示器，但产值将为其它平面显示器所 超越。然而在 2005 年各类平面显示器中，LCD 仍将保持期蕞大市场占有率，其产值 将高达～兆日圆，主要应用于笔记型计算机、桌上型计算机显示器及行动电话等。同 时，日本 Sharp 公司也预测在 2005 年，FPD 之市场值将高达兆日圆。其中各种平面显 示器之占有率分别为 TFT-LCD：66%；STN-LCD：10%；PDP：19%；有机 EL： 3%。 以显示器之应用别统计，日本 JEITA 之预测如表一。

　　在平面显示器(FPD)相关产业方面，可大致分为(1)材料产业；(2)制程设备产业；(3)检 查设备产业等 3 大部分。以 2000 年为例，材料产业之产值约占了 FPD 总产值之 64% (约为 6,500 亿元日币)，而制程设备的产值约占了 30%，因此可见相关材料产业在平 面显示器中所占有之份量。

　　TFT-LCD 液晶显示器的市场与机会 在 TFT-LCD 产能方面，一般预测日本之占有率将从 2000 年之%下滑至 2005 年之%； 而台湾之市场占有率将从 2000 年之%成长至 2005 年之%；韩国则约略保持相近之占 有率。表二为以 TFT-LCD 生产地区区分的生产能量预测。

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